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發布時間: 2017 - 12 - 08
CSE’s Horizontal Quartz Tube Cleaning Stations are designed and built around your quartz tube configuration. All quartz tube cleaners incorporate an acid spray cycle, rinse cycle and an option dry cycle. Once the application is defined we add appropriate options like holding tanks, programmable rinse cycles, bottle washer and T/C sheath cleaner to complete your design. All tube cleaners include all required safety features with sign off drawings. Our expertise in developingquartz tube cleaning stations and outstanding customer support gives you the satisfaction you deserve. All process, etching or cleaning components are built and designed in-house giving you complete turnkey support. Quartz Tube Cleaning Station Benefits Include:§ Custom designed around your tube requi...
發布時間: 2019 - 06 - 11
實驗室自動配液機(灌裝機)CSE-LIQOUR-II  隨著濕化學設備在LED、太陽能、MEMS、功率器件、分立器件、先進封裝和半導體材料等領域自動化程度的不斷提高,傳統的人工手動配液、補液逐漸由自動配液取代?! ∪欢?,在濕制程工藝實驗以及生物配藥實驗等實驗驗證的過程中,大多數還保持著采用量筒量杯逐一調配制程藥液的方法。采用人為手工配置藥液不僅精度得不到保證,而且化學品大多有腐蝕性、毒性等特點(如硫酸H2SO4、硝酸HNO3、磷酸H3PO4、鹽酸HCL、氫氟酸HF、緩沖氧化物刻蝕液BOE等酸性溶液;氨水NH4OH、氫氧化鉀KOH等堿性溶液;NMP溶液、丙酮、甲醇、IPA等有機液),在配比過程中對操作人員具有一定的危險性?! 榻鉀Q實驗室手動配液的弊端,華林科納(江蘇)半導體設備有限公司開發研制了新型實驗室自動配液機(灌裝機)CSE-LIQOUR-II。此配液機專為化學生物制藥工藝實驗室設計,是用來滿足藥液自動配比的設備,通過稱重、流量計準確計量、氣壓輸送或注塞抽取等方式將藥液按照比例輸送,配液精確度能夠達到2‰。  該設備操作自動化,質量好,能預防藥液污染。適用于半導體清洗和藥廠配制普通液體藥劑等用途,具有以下優點:  1)操作安全:系統應具有抗腐蝕性、毒性、耐壓、防燃防爆等功能,保證操作者安全;  2)兼容性:與化學品接觸部分完全與輸送化學品兼容,對化學品零污染;  3)自動控制操作運轉:系統單元與機臺界面自動化;  4)精確配比:系統連續供液(配液、補液)過程中準確可靠,脈動性較好;  5)泄漏警報:檢測泄漏及緊急關閉系統(E-MO);  6)其他:系統自診斷及管路維修保養功能?! ∽鳛闈裰瞥淘O備專業制造商,華林科納(江蘇)半導體設備有限公司對實驗室自動配液機(灌裝機)CSE-LIQOUR-II的成功研發,為濕制程工藝實驗室或生物配藥實驗室的精確配比,提升實驗人員的實驗...
發布時間: 2016 - 12 - 02
太陽能單晶制絨清洗機設備-CSE華林科納(江蘇)CSE密切跟蹤太陽能光伏行業發展,致力于“設備+工藝”的研發模式,現生產的單多晶制絨設備已經形成了良好的客戶基礎和市場影響。生產工藝流程為:預清洗→制絨→擴散→刻蝕→去PSG→PECVD→印刷→燒結太陽能電池片濕法設備主要技術特點:1.獨特的雙槽制絨工藝槽設計;2.分立式加熱系統保證溶液均勻性并降低運營成本;3.多通道注入結構實現制絨工藝槽溶液均勻性控制;4.機械傳動特殊設計及人性化安全保證;5.適應性強的工藝過程控制。  在太陽能電池生產中,制絨是晶硅電池的第一道工藝。華林科納CSE的工程師提到對于單晶硅來說,制絨的目的就是延長光在電池表面的傳播路徑,從而提高太陽能電池對光的吸收效率。單晶硅制絨的主要方法是用堿(NaOH、KOH)對硅片表面進行腐蝕。由于硅片的內部結構不同,各向異性的堿液制絨主要是使晶向分布均勻的單晶硅表面形成類似“金字塔”狀的絨面,有效地增強硅片對入射太陽光的吸收,從而提高光生電流密度。對于既可獲得低的表面反射率,又有利于太陽能電池的后續制作工藝的絨面,應該是金字塔大小均勻,單體尺寸在 2~10 μm之間,相鄰金字塔之間沒有空隙,即覆蓋率達到100%。理想質量絨面的形成,受到了諸多因素的影響,如硅片被腐蝕前的表面狀態、制絨液的組成、各組分的含量、溫度、反應時間等。而在工業生產中,對這一工藝過程的影響因素更加復雜,例如加工硅片的數量、醇類的揮發、反應產物在溶液中的積聚、制絨液中各組分的變化等。為了維持生產良好的可重復性,并獲得高的生產效率。就要比較透徹地了解金字塔絨面的形成機理,控制對制絨過程中影響較大的因素,在較短的時間內形成質量較好的金字塔絨面。      單晶制絨的工藝比較復雜,不同公司有各自獨特的制絨方法。一般堿制絨有以下幾種方法:...
發布時間: 2016 - 06 - 02
全自動硅料清洗機 ---華林科納CSE華林科納(江蘇)CSE密切跟蹤太陽能光伏行業發展,致力于“設備+工藝”的研發模式,現生產的單多晶制絨設備已經形成了良好的客戶基礎和市場影響。生產工藝流程為:預清洗→制絨→擴散→刻蝕→去PSG→PECVD→印刷→燒結太陽能電池片濕法設備主要技術特點:1.獨特的雙槽制絨工藝槽設計;2.分立式加熱系統保證溶液均勻性并降低運營成本;3.多通道注入結構實現制絨工藝槽溶液均勻性控制;4.機械傳動特殊設計及人性化安全保證;5.適應性強的工藝過程控制。特點:1)主要用于對硅材料行業中多晶硅塊進行清洗干燥處理。2)工藝流程:根據客戶需求定制,可處理腐蝕、清洗、超聲、加熱、干燥、上料 、噴淋 、酸洗、漂洗、下料等工藝;3)控制方式:手動或自動4)材質:根據客戶及工藝需求選用,可選PP、PVC、PVDF、石英、不銹鋼等材質,保證設備的耐用性;5)槽體的槽底均為傾斜漏斗式結構,便于清洗和排渣;  6)設備設有旋轉裝置使工件達到更好的清洗效果;7)頂部設有排霧系統結合酸霧塔進行廢霧、廢水處理避免污染環境;8)PLC控制人機界面操作顯示能根據實際情況更改清洗參數。更多的太陽能光伏清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(www.paocaibang.cn),現在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發布時間: 2016 - 03 - 10
全自動硅芯硅棒清洗機---CSE華林科納(江蘇)CSE密切跟蹤太陽能光伏行業發展,致力于“設備+工藝”的研發模式,現生產的單多晶制絨設備已經形成了良好的客戶基礎和市場影響。生產工藝流程為:預清洗→制絨→擴散→刻蝕→去PSG→PECVD→印刷→燒結太陽能電池片濕法設備主要技術特點:1.獨特的雙槽制絨工藝槽設計;2.分立式加熱系統保證溶液均勻性并降低運營成本;3.多通道注入結構實現制絨工藝槽溶液均勻性控制;4.機械傳動特殊設計及人性化安全保證;5.適應性強的工藝過程控制。產品描述1)主要用于對硅材料行業中多晶硅塊進行清洗干燥處理。2)工藝流程:根據客戶需求定制,可處理腐蝕、清洗、超聲、加熱、干燥、上料 、噴淋 、酸洗、漂洗、下料等工藝;3)控制方式:手動或自動4)材質:根據客戶及工藝需求選用,可選PP、PVC、PVDF、石英、不銹鋼等材質,保證設備的耐用性;5)槽體的槽底均為傾斜漏斗式結構,便于清洗和排渣;  6)設備設有旋轉裝置使工件達到更好的清洗效果;7)頂部設有排霧系統結合酸霧塔進行廢霧、廢水處理避免污染環境;8)PLC控制人機界面操作顯示能根據實際情況更改清洗參數。更多的太陽能光伏清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(www.hlcas.com),現在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發布時間: 2016 - 06 - 29
全自動制絨清洗機設備--CSE華林科納(江蘇)CSE密切跟蹤太陽能光伏行業發展,致力于“設備+工藝”的研發模式,現生產的單多晶制絨設備已經形成了良好的客戶基礎和市場影響。生產工藝流程為:預清洗→制絨→擴散→刻蝕→去PSG→PECVD→印刷→燒結太陽能電池片濕法設備主要技術特點:1.獨特的雙槽制絨工藝槽設計;2.分立式加熱系統保證溶液均勻性并降低運營成本;3.多通道注入結構實現制絨工藝槽溶液均勻性控制;4.機械傳動特殊設計及人性化安全保證;5.適應性強的工藝過程控制。產品描述1)主要用于對硅材料行業中多晶硅塊進行清洗干燥處理。2)工藝流程:根據客戶需求定制,可處理腐蝕、清洗、超聲、加熱、干燥、上料 、噴淋 、酸洗、漂洗、下料等工藝;3)控制方式:手動或自動4)材質:根據客戶及工藝需求選用,可選PP、PVC、PVDF、石英、不銹鋼等材質,保證設備的耐用性;5)槽體的槽底均為傾斜漏斗式結構,便于清洗和排渣;  6)設備設有旋轉裝置使工件達到更好的清洗效果;7)頂部設有排霧系統結合酸霧塔進行廢霧、廢水處理避免污染環境;8)PLC控制人機界面操作顯示能根據實際情況更改清洗參數。更多的太陽能單晶多晶硅片制絨腐蝕清洗機設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(www.hlcas.com),現在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發布時間: 2016 - 06 - 09
硅片濕法清洗技術與設備---華林科納CSE硅片制造過程中,在進行下一步工藝前要獲得 一個潔凈的表面,以保證后道工藝能再一個完全潔 凈的表面上進行,這就需要對硅片進行清洗。清洗是硅片制造過程中重復次數最多的工藝。目前,在 清洗工藝中使用最多的就是濕法清洗技術,華林科納半導體設備公司的硅片濕法腐蝕清洗機在半導體行業得到了很多客戶的認可.1 硅片濕法清洗的種類1.1 刷洗刷洗是去除硅片表面顆粒的一種直接而有效的方法,該清洗技術一般用在切割或拋光后的硅片清洗上,可高效地清除拋光后產生的大量顆粒。刷洗一般有單面或雙面兩種模式,雙面模式可同時清洗硅片的兩面。刷洗有時也與超聲及去離子水或化學液一起配合使用,以達到更好的清洗效果和更高的清洗效率。1.2 化學清洗1.2.1 RCA 清洗20 世紀 60 年代,由美國無線電公司(RCA)研發了用于硅片清洗的 RCA 清洗技術,這種技術成為后來各種化學清洗技術的基礎,現在大多數工廠所使用的清洗技術都是基于最初的 RCA 清洗法。RCA 清洗是按照一定的順序依次浸入兩種標準清洗液(SC-1 和 SC-2)中來完成,這兩種清洗液的使用溫度一般在 80 ℃以內,有時也需要將溶液冷卻到室溫以下。1.2.2 改進的 RCA 清洗RCA 清洗一般都需要在高溫下進行,并且化學液的濃度很高,這樣就造成大量消耗化學液和去離子水的問題。目前,很少有人還按照最初的 RCA化學液配比進行濕法清洗。在 RCA 清洗的基礎上,采用稀釋化學法,將SC-1、SC-2 稀釋到 100 倍以上,也可以達到甚至超過最初的 RCA 清洗效果。改進的 RCA 清洗方法最大的好處是減少了化學液的消耗,可使化學液的消耗量減少 85﹪以上。另外,附加兆聲或超聲能量后,可大大降低溶液的使用溫度和反應時間,提高溶液的使用壽命,大幅度降低了生產成本,同時,低濃度化學液對人體健康和安全方面...
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在太陽能電池生產中,制絨是晶硅電池的第 一道工藝。華林科納CSE的工程師提到對于單晶硅來說,制絨的目的就是延長 光在電池表面的傳播路徑,從而提高太陽能電池對光的吸收效率。單晶硅制絨的主要方法是用堿 (NaOH、KOH)對硅片表面進行腐蝕。由于硅片的 內部結構不同,各向異性的堿液制絨主要是使晶 向分布均勻的單晶硅表面形成類似“金字塔”狀的 絨面,有效地增強硅片對入射太陽光的吸收,從而 提高光生電流密度。對于既可獲得低的表面反射 率,又有利于太陽能電池的后續制作工藝的絨面, 應該是金字塔大小均勻,單體尺寸在 2~10 μm 之間,相鄰金字塔之間沒有空隙,即覆蓋率達到 100%。理想質量絨面的形成,受到了諸多因素的 影響,如硅片被腐蝕前的表面狀態、制絨液的組 成、各組分的含量、溫度、反應時間等。而在工業生 產中,對這一工藝過程的影響因素更加復雜,例如 加工硅片的數量、醇類的揮發、反應產物在溶液中 的積聚、制絨液中各組分的變化等。為了維持生產 良好的可重復性,并獲得高的生產效率。就要比較 透徹地了解金字塔絨面的形成機理,控制對制絨 過程中影響較大的因素,在較短的時間內形成質 量較好的金字塔絨面。單晶制絨的工藝比較復雜,不同公司有各自 獨特的制絨方法。一般堿制絨有以下幾種方法: NaOH+IPA、NaOH+IPA+NaSiO3、NaOH+CH3CH2OH 等。一般使用到的化學添加劑有兩種,一...
發布時間: 2018 - 07 - 02
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集成電路濕法工藝的目的半導體集成電路制程主要以20世紀50年代以后發明的四項基礎工藝(離子注入、擴散、外延生長及光刻)為基礎逐漸發展起來,由于集成電路內各元件及連線相當微細,因此制造過程中,如果遭到塵粒、金屬的污染,很容易造成晶片內電路功能的損壞,形成短路或斷路等,導致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。濕法工藝作用是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下,有效地使用化學藥液清除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子、自然氧化層及有機物之雜質。  批處理清洗設備                         單晶圓清洗設備 集成電路工藝過程IC芯片主要工藝過程 濕法設備的應用濕法設備在8寸IC芯片制造過程中的應用集成電路濕法工藝IC芯片清洗工藝分類1. 前段灰化后清洗 35%     -硫酸過氧化混合液清洗(SPM Clean) 2.   熱氧化前預清洗      &#...
發布時間: 2018 - 06 - 11
瀏覽次數:1798
中國政府“十三五“規劃草案,經濟發展目標包括半導體等先進產業及在晶片材料、機器人、航空設備和衛星的次世代領域成為世界領先,研發經費將達GDP2.5%。那么半導體是怎么制造出來的?這里我們并不是探究從沙子到芯片的過程,而是聚焦于半導體生產制造的環境和生產設備。半導體芯片的生產通常要經歷以下過程:半導體芯片生產工序這些高端精細的制備過程對芯片的生產環境和設備要求是極高的,這些機器設備會令硅芯片(如英特爾硅芯片)遭受超強真空處理、「化學浴」浸泡、高能等離子體加工、紫外光照射等一系列步驟,同時還要使硅芯片經過數百個制造階段,從而將它們變成CPU、存儲器片、圖形處理器等。我們以美國應用材料公司的梅坦技術中心半導體生產環境和制備設備為例。 1.無塵室在進入研究中心以前,必須穿上防護服,戴上面具、護目鏡、兩幅手套以及將鞋完全套住的塑膠袋。這里不是生產車間,相反,這個無塵室只是模擬了晶圓廠的環境,應用材料公司的設備將在這種環境下使用,以便公司及其客戶可以測試新技術和新工藝,然后真正將它們推向生產線。2.玻璃光掩膜 芯片制造的核心技術是平版印刷(光刻),這種技術就像是絲網印刷,只不過不是通過絲制模板將墨滾壓至棉T恤上,而是通過玻璃光掩膜,使紫外光照射表面涂有光刻膠(一種有機化合物)的硅襯底上。在紫外光照射穿透的地方,光刻膠的化學特性會被削弱,使硅芯片表面留下圖案。接著,硅芯片會被...
發布時間: 2018 - 06 - 09
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SEMICON China是中國首屈一指的半導體旗艦展覽,每年吸引全球高數量和高質量的觀眾到場參觀,包括企業高層領導人、采購商和投資人、技術工程師、中央及產業發展熱點地區政府官員,是業界公認的會見新老供應商,洽談生意,獲取最新產品、技術和解決方案的首要平臺。華林科納CSE再次參加了2018年SEMICON China展會,展會期間參展了公司四大系列產品,其產品優勢吸引了眾多知名企業領導蒞臨參觀,其中CSE單片清洗機、甩干機、自動供液系統以及黑硅制絨設備的技術方案在同行里優勢凸顯,多家企業意向預約前往公司生產基地參觀。此次參展的圓滿成功離不開合作伙伴和公司小伙伴們的支持,再次表示感謝,同時也邀請大家參加公司明年的展會,歡迎大家蒞臨參觀指導。
發布時間: 2018 - 03 - 20
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長期以來,多晶太陽電池表面反射率較高的難題一直得不到有效解決,制約了電池效率的進一步提升。濕法黑硅技術成功解決了這一難題,該技術將來勢必成為多晶電池的標配技術。         多晶電池效率的提升受制于表面反射率的降低。常規多晶主要采用酸制絨,形成蠕蟲狀的坑洞;而單晶采用堿制絨,形成金字塔結構的絨面。相比單晶電池,常規多晶電池的表面反射率高3%~5%(絕對值)。降低表面反射率是提高多晶電池效率的關鍵。成本方面,單晶硅片受益于金剛線切割工藝的推廣,成本大幅下降;而多晶硅片金剛線線切的推廣受制于電池制絨工藝的匹配,具體講,金剛線線切多晶硅片使用常規制絨工藝后,反射率更高并有明顯的線痕等外觀缺陷,嚴重降低電池效率。華林科納(江蘇)CSE開發的濕法黑硅制絨技術完美的解決以上問題,既能提升電池效率又能降低電池成本,是多晶電池繼續進步的必由之路。 更過太陽能電池片濕法黑硅制絨機設備可以關注華林科納(江蘇)半導體CSE網站:www.paocaibang.cn
發布時間: 2017 - 05 - 24
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關于晶圓封裝測試工序和半導體制造工藝流程 一、 IC檢測 1. 缺陷檢查Defect Inspection 2. DR-SEM(Defect Review Scanning Electron Microscopy)  用來檢測出晶圓上是否有瑕疵,主要是微塵粒子、刮痕、殘留物等問題。此外,對已印有電路圖案的圖案晶圓成品而言,則需要進行深次微米范圍之瑕疵檢測。一般來說,圖案晶圓檢測系統系以白光或雷射光來照射晶圓表面。再由一或多組偵測器接收自晶圓表面繞射出來的光線,并將該影像交由高功能軟件進行底層圖案消除,以辨識并發現瑕疵。  3. CD-SEM(Critical Dimensioin Measurement)  對蝕刻后的圖案作精確的尺寸檢測。  二、 IC封裝  1. 構裝(Packaging)  IC構裝依使用材料可分為陶瓷(ceramic)及塑膠(plastic)兩種,而目前商業應用上則以塑膠構裝為主。以塑膠構裝中打線接合為例,其步驟依序為晶片切割(die saw)、黏晶(die mount / die bond)、焊線(wire bond)、封膠(mold)、剪切/成形(trim / form)、印字(mark)、電鍍(plating)及檢驗(inspection)等。  (1) 晶片切割(die ...
發布時間: 2017 - 05 - 12
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導讀: 半導體分立器件IGBT潛在市場巨大,在工業控制、汽車電子、新能源、智能電網應用市場廣闊,而中國IC制造芯片廠也正積極尋求突破口,以成熟的工藝制程落地在地生產,提升國產IGBT芯片模塊的自給率。半導體分立器件IGBT(絕緣柵雙極型晶體管芯片)潛在市場巨大,在工業控制、汽車電子、新能源、智能電網應用市場廣闊,而中國IC制造芯片廠也正積極尋求突破口,以成熟的工藝制程落地在地生產,提升國產IGBT芯片模塊的自給率。IGBT應用領域廣泛,堪稱現代功率變流裝置的“心臟”和高端產業的“核芯”。從傳統的電力、機械、礦冶,到軌道交通、航空航天、新能源裝備以及特種裝備等戰略性新興產業,都有它的身影。不過當前全球IGBT市場,仍被日、歐、美等IDM芯片廠刮分。盡管中國擁有全球最大的功率半導體市場,但與國際芯片大廠相比仍有很大差距,包括目前中國現在的IGBT等功率元器件幾乎也都依賴進口,每年需花數十億美元進行海外采購,自給率仍較低。不過這樣的情況正在一步步改觀取得突破。近期,包括中車株洲所與中車電動共同推出了多款應用于電動汽車的IGBT。這也讓中國的高鐵采用自己“中國芯”的核心芯片。中車電動母公司——中車株洲目前擁有國內首條、全球第二條8吋IGBT芯片及模塊生產線,并且已掌握IGBT的專業研發制造技術,具備年產12萬片芯片、并配套形成年產100萬只IGBT模塊的自動化封裝測試能力,芯片與...
發布時間: 2017 - 04 - 13
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半導體行業招標采購項目進展英特爾半導體大連有限公司 (美國獨資)—非易失性存儲器一期擴建項目項目背景:英特爾大連芯片廠是英特爾半導體(大連)有限公司在大連市投資25億美元建設的先進半導體芯片制造廠, 也是英特爾在亞洲設立的第一座芯片廠。工廠于2007年底開始建設,2009年建成投入試用,2010年10月正式投產, 大連芯片廠的總建筑面積16.3萬平方米, 采用業界主流的300毫米硅晶圓和英特爾成熟的65納米制造工藝生產電腦芯片組產品。2015年10月21日, 英特爾宣布將其與美光合資開發的最新非易失性儲存技術引入中國, 并在遼寧大連投資55億美元, 升級現在的英特爾大連工廠以生產“非易失性儲存”設備。該項目將于2016年年底實現正式投產。非易失性儲存固態硬盤項目是英特爾核心計算業務, 大連新工廠也將成為英特爾在全球第一個用300毫米晶圓領先生產技術的非易失性存儲產品集成電路制造中心。這項投資將成為英特爾進一步踐行“生根中國, 綻放世界”戰略的重要里程碑。審批手續進展情況:該項目由區發改委批復建設 預計采購設備:模擬示波器、可程式交換直流電源供應器、臺式數字萬用表、電器綜合測試儀、光譜亮度計、分光輻射度計、電器綜合測試儀、色彩分析儀、視角測量儀、半導體封裝超純水設備、組裝生產線、芯片封裝機、無鉛...
發布時間: 2017 - 04 - 12
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SEMICON China在半導體行業內眾所周知,它是一次行業的盛會,每年從全世界各地趕來參加的半導體精英都是數以萬計。這說明了半導體在全球范圍內的火熱態勢,同時也見證了中國半導體制造業茁壯成長、加速發展的歷史,也必將為中國半導體制造業未來的強盛壯大作出貢獻。在不久前上海召開的SEMICON China 2017場面相當火爆中國半導體市場規模正在不斷提升,這是顯而易見的。從2000年以來,全球半導體市場一直在迅猛增長,而尤其以中國半導體的成長態勢最為顯著,在世界市場上所占的份額也日益提升。從2000年到2010年,中國半導體市場占全球份額從7%變成了30%;在剛過去的2016年,全球半導體市場總額高達3530億美元,而中國半導體市場占了其中的45%。相信在未來的幾年時間里中國半導體市場的占有份額還是會持續穩定的增長。不過目前中國的“半導體熱”基本上屬于投資拉動型,實際的產業發展水平與國際先進水平仍有很大差距,尤其是在材料與設備上的差距特別明顯。隨著半導體行業的國際競爭力的持續增長,國內有經驗的人才資源還是不足。尤其是上游材料與設備嚴重依賴海外市場的供給,自身的材料與設備的質量和技術存在嚴重缺陷。集成電路產業的良性發展需要有適當的產業環境,需要有完善的生態體系。目前,中國制造企業仍然大量采用日韓等國外廠商供應的材料,這不利于自身技術的發揮,也不利于培育本土設備材料等配套企業。從“SE...
發布時間: 2017 - 04 - 10
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電子工廠化學品供應與回收系統概述由于電子產業的生產需要使用大量的化學品,而這些化學 品都具有一定危險性,稍有疏忽,就會造成重大的人員傷亡 和設備的損失,因此,如何將這些化學品在保證品質的前提下安全輸送到使用點,如何將這些使用過的化學品合理地回 收處理,將是電子工廠生產安全的重要問題。由此看來,電 子工廠中化學品的供應與回收系統之改進、優化仍是值得探 究的。 原來國內大規模集成電路生 產線所需的化學品供給、回收系統管道完全由海外公司承攬施工,隨著國內 IC 制造業的發展,國內一流的 IC 工廠建設公司已經開始打破這一局面,涉足該系統的施工,為我國電 子行業的自主發展添加了助推劑。 本文就新型顯示器件廠(簡稱 LCD)和集成電路芯片廠 (簡稱芯片廠)的化學品供應和回收系統進行在系統類型、 基本構成、主要安全技術措施等方面做了些總結, 可供系統優化時參考。 1 化學品供應系統 1.1 化學品供應系統的分類 化學品供應系統在國外一些企業稱為 CDS(Chemical Dispense System) 或 簡 寫 為 BCD (Bulk chemical distribution),它是為生產線 24 小時不間斷供應化學品的 系統。供應系統供應的化學品一般使用量較大或有多臺設備 使用,屬于遠距離輸送,不適用使用量少或是使用前存放時間有限制的化學品(通常需用特殊的包裝輸送到使用點)。...
發布時間: 2017 - 04 - 06
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